Oblasti použití materiálů pro tantalové terče

Používá se hlavně při fyzikálním nanášení par a dalších procesech, během procesu naprašování jsou atomy na povrchu tantalového terče bombardovány a ukládány ve formě tenkého filmu na substrát, aby se získal požadovaný tenký filmový materiál.
Teplota tání tantalu je až 2996 stupňů , což umožňuje tantalovým terčům udržet si dobrou strukturální stabilitu ve vysokoteplotním naprašovacím prostředí a nesnadno se deformuje ani neodpařuje. Hustota je obvykle vyšší než 16,6 g/cm³, což může snížit problémy s praskáním nebo deformací během naprašování a zároveň omezit rozstřikování částic a zlepšit kvalitu filmu. Při teplotě naprašování není snadno těkavý, což zajišťuje minimální ztrátu materiálu terče během procesu naprašování a poskytuje stabilní atomy tantalu pro nanášení tenkého filmu.
Chemické vlastnosti tantalu jsou velmi stabilní a téměř nereaguje s jinými kyselinami kromě kyseliny fluorovodíkové a horké koncentrované kyseliny sírové. Může být také používán po dlouhou dobu v drsném chemickém prostředí a tantalový film z něj vyrobený má také dobrou odolnost proti korozi. Povrch tantalu je náchylný k vytvoření hustého a stabilního pasivačního filmu oxidu tantalu, který může účinně zabránit další oxidační korozi a zlepšit životnost materiálu.
Oblast použití
Při výrobě integrovaných obvodů se materiály z tantalových terčů používají k přípravě vrstev difúzní bariéry, zabraňují pronikání měděných spojů do křemíkových substrátů, zlepšují spolehlivost a výkon zařízení a lze je také použít jako materiály hradel nebo součást kovových hradel pro MOSFETy a také jako elektrody kondenzátorů v paměťových zařízeních s vysokou{0}}hustotou, jako je DRAM.
Při výrobě displejů z tekutých krystalů (LCD) a organických -diod emitujících světlo (OLED) se tantalové terčíky používají k přípravě elektrod a vrstev vodičů tenkovrstvých tranzistorů (TFT). Jejich stabilita a vodivost pomáhají zlepšit kvalitu zobrazení. Kromě toho je lze také použít jako tenké filmové zapouzdřovací vrstvy v OLED pro prodloužení životnosti zařízení.
Vysoce čisté tantalové filmy používané k přípravě optických filmů, jako jsou antireflexní povlaky nebo filtry, mají rovnoměrný index lomu a dobrou trvanlivost, vhodné pro přesné optické přístroje, jako jsou čočky fotoaparátů a laserová zařízení. V chemickém, ropném, mořském a jiném prostředí mohou antikorozní povlaky připravené z tantalových terčových materiálů účinně chránit zařízení, potrubí a nádoby před korozí.