Definice produktu
Rozprašovací terč je jedním z hlavních materiálů pro přípravu tenkých vrstev naprašováním. Proces naprašování je jednou z hlavních technologií pro přípravu elektronických tenkých vrstev. Využívá ionty generované iontovým zdrojem k vytvoření vysokorychlostního iontového paprsku po zrychlené agregaci ve vysokém vakuu a bombardování pevného povrchu. Ionty a atomy na pevném povrchu si vyměňují kinetickou energii, což způsobuje, že atomy na pevném povrchu opouštějí pevnou látku a ukládají se na povrchu substrátu. Bombardovaná pevná látka je surovinou pro nanášení tenkých vrstev naprašováním, které se nazývá rozprašovací terč.
Strukturálně je terč složen hlavně z „target blank“ a „back plate“. Mezi nimi je polotovar terče materiál terče ostřelovaný vysokorychlostním iontovým paprskem, který patří k základní části naprašovacího terče a zahrnuje regulaci orientace vysoce čistých kovů a zrn. Zadní deska hraje hlavní roli při upevnění naprašovacího terče, včetně procesu svařování. Vzhledem k nízké pevnosti vysoce-kovu musí naprašovací terč dokončit proces naprašování ve speciálním stroji. Uvnitř stroje je vysoké-napětí a vysoké-podtlakové prostředí, takže zadní deska také musí mít dobrou elektrickou a tepelnou vodivost.
Klasifikace produktu
Tvar: Lze jej rozdělit na dlouhé terče, čtvercové terče, kulaté terče a trubkové terče. Mezi nejběžnějšími terči jsou čtvercové terče a kulaté terče, což jsou pevné terče. V současné době se za účelem zlepšení míry využití materiálů elektrod prosazují doma i v zahraničí duté válcové rozprašovací elektrody, které se mohou otáčet kolem součástí pevných tyčových magnetů. Protože cílový povrch tohoto typu cíle může být rovnoměrně vyleptán při 360 stupních, lze míru využití zvýšit z obvyklých 20 % na 30 % na 75 % až 80 %.
Materiály: Terče se dělí na kovové terče (čistý tantal, niob, vanad, hafnium, titan, wolfram, molybden atd.), terče ze slitiny (tantal-slitina niobu, niob-slitina wolframu, niob-slitina zirkonu} niob 10, C{6}slitina niobu, C{6} slitina 521, niobová-slitina titanu, nikl-titanová slitina, slitina nikl-kobalt atd.) a terče z keramických sloučenin (oxidy, silicidy, karbidy, sulfidy atd.).
Klasifikace odvětví
1) Cílové odvětví zobrazovacího panelu
V závislosti na různých procesech lze průmyslové cíle FPD také zhruba rozdělit na cíle pro naprašování a cíle pro odpařování. Mezi nimi jsou naprašovací terče především Cu, Al, Mo a IGZO. Terčové materiály používané pro odpařování se obecně skládají ze dvou kovů: Ag a Mg.
Klasifikace aplikací: Mainstreamové zobrazovací panely se dělí na LCD a OLED. Tenkovrstvé tranzistorové displeje z tekutých krystalů (TFT-LCD) nabízejí výhody, jako je tenkost, nízká spotřeba energie a nízká cena. V současné době tvoří TFT-LCD více než 80 % podílu na trhu zobrazovacích panelů. Tyto zobrazovací panely se skládají z velkého pole zobrazovacích buněk z tekutých krystalů (například obrazovka s rozlišením 4K obsahuje více než 8 milionů buněk), z nichž každá je řízena a poháněna samostatným tranzistorem s tenkým filmem (TFT).
Rychle se rozvíjející průmysl panelů OLED také zaznamenal výrazný nárůst poptávky po cílových materiálech. Typická struktura OLED zahrnuje nanesení vrstvy materiálu vyzařujícího světlo- o tloušťce desítek nanometrů na sklo z oxidu india a cínu (ITO). Transparentní elektroda ITO slouží jako anoda zařízení, zatímco molybden nebo slitina slouží jako katoda.
2) Fotovoltaický cílový průmysl
Materiály terčů se primárně používají v heteropřechodových a teluridových bateriích kadmia. ITO terče jsou základní materiály pro nanášení průhledné vodivé vrstvy při výrobě heterojunkčních solárních článků. Telurid kadmia, telurid kadmia a zinku a selenid kadmia jsou klíčovými spotřebními materiály při výrobě tenkovrstvých solárních článků.
Aplikace: Terče používané ve fotovoltaických článcích tvoří zadní elektrodu. Zadní elektroda tenkovrstvých solárních článků tvořených naprašovacími terči má tři primární účely: za prvé slouží jako záporná elektroda pro každý jednotlivý článek; za druhé, poskytuje vodivou cestu spojující články v sérii; a za třetí, zvyšuje odrazivost světla solárního článku. V současné době jsou naprašovacími terči pro tenkovrstvé solární články primárně čtvercové desky s požadavky na čistotu obecně přesahujícími 99,99 % (4N). Běžně používané rozprašovací terče pro tenkovrstvé články zahrnují hliník, měď, molybden a chrom, stejně jako ITO a AZO (oxid hliníku a zinku). Buňky HIT primárně využívají ITO cíle pro své průhledné vodivé filmy. Hliníkové a měděné terče se primárně používají pro vodivou vrstvu, molybdenové a chromové terče pro bariérovou vrstvu a terče ITO a AZO pro průhlednou vodivou vrstvu.
3) Cílový průmysl polovodičů
Průmysl polovodičových čipů je jednou z hlavních oblastí použití kovových naprašovacích terčů. Je to také obor s nejvyššími požadavky na složení, strukturu a výkonnost cílových materiálů. Cílový požadavek na čistotu je obvykle 99,9995 % (5N5) nebo dokonce 99,9999 % (6N). Úlohou kovových naprašovacích terčů pro polovodičové čipy je vytvořit na čipu kovové dráty pro přenos informací.
Věřím, že kontakt s námi Vám přinese nečekaná překvapení
E-e-mail
kd@tantalumysjs.com
+86 13379388917
Přidat
Průmyslová zóna vesnice Wenquan, rozvojová zóna Gaoxin, město Baoji, provincie Shaanxi, Čína
