1. Nařežte ingot vanadu požadované čistoty podle cílové velikosti pomocí horizontální pily, předehřejte na 450-500 stupeň, poté vykujte a upravte celkovou míru deformace výkovku na 70-80 %;
2. Žíhejte kovaný vanadový ingot při teplotě 400-500 stupňů a době zdržení 60-120 min a poté jej ochlaďte vzduchovým chlazením;
3. Válcujte žíhaný vanadový ingot a řiďte velikost lisování každého průchodu na 0.5-1 mm a řiďte celkovou deformaci na 70-80 %, dokud nebude vanadiový cílový polotovar je získán požadovaný průměr a tloušťka;
4. Válcovaný vanadiový terčový polotovar znovu vyžíhejte při teplotě 450-550 stupňů a době výdrže 90-150min. Po opětovném žíhání jej ochlaďte vodou, abyste získali požadovaný cílový polotovar vanadu s vysokou čistotou.
Takto připravený polotovar vanadiové terče má nejen jednotnou vnitřní strukturu, ale má i výhodu jemných zrn.
Cílový materiál musí mít vysokou čistotu, méně nečistot, jednotné chemické složení, žádnou segregaci, žádné póry, jednotnou strukturu zrna a velikost zrna na úrovni mikrometrů až milimetrů. Požaduje se, aby rozdíl velikosti zrn v jedné rozprašovací elektrodě byl co nejmenší. Tímto způsobem není snadné vytvořit výbojový jev při magnetronovém naprašování a magnetronový naprašovací film je rovnoměrný.
Aplikace vanadiového terče
Používá se v oblasti solární energie, plochých displejů, elektroniky a polovodičů, jako jsou integrované obvody, pokovení základní desky, optoelektronika a další aplikace.
