Jaké typy cílových materiálů existují – část první

Jaké jsou cílové materiály?

Cíl je vlastně široký pojem. Existují tři způsoby, jak klasifikovat cílové materiály:

1. Podle vnějších rozměrů jej lze rozdělit na válcové, obdélníkové, čtvercové deskové terče a trubkové terče. Podle materiálu lze materiály terčů rozdělit na kovové terče, polymerní keramické nekovové terče a slitinové terče atd.;

2. Materiály terčů lze podle materiálu rozdělit na klasické kovové terče, terče z drahých kovů, terče z kovů vzácných zemin, nekovové terče, slitinové naprašovací terče, keramické naprašovací terče atd.;

3. Podle aplikačního oboru jej lze rozdělit na terče pro polovodiče, terče pro zobrazovací panely, terče pro solární články, terče pro magnetický záznam atd.

Klasifikace podle tvaru cíle

Běžné cíle jsou většinou čtvercové terče a kulaté terče, což jsou pevné terče. Při operaci potahování je magnetické pole generované kruhovým permanentním magnetem na povrchu terče prstencové, dochází k nerovnoměrné erozi, rovnoměrnost tloušťky naprašovaného filmu není dobrá a účinnost využití terče je pouze asi 20 % až 30 %. V současnosti propagovaný dutý trubkový terč se může po určitou dobu otáčet kolem pevné tyčové magnetové sestavy a 360° terčový povrch může být rovnoměrně vyleptán, což má zjevné výhody a zvyšuje míru využití na 80 %.

Klasifikace podle cílového materiálu

Konvenční kovové terče: