
Wolframový rozprašovací terč
2. Název produktu: Tungsten Sputtering Target
3. Symbol prvku: W
4. Čistota: 3N5
5. Tvar: Planární terč, Rotační terč
Vysoce čistý wolframový kov používaný k výrobě wolframových rozprašovacích terčů je obvykle křehký a práce s ním je náročná. Wolfram si může zachovat svou tvrdost (která je větší než u mnoha ocelí) a má dostatečnou tažnost, aby se dal snadno zpracovat, pokud je zformován do velmi čistého materiálu. Prochází procesy kování, protahování nebo vytlačování. Typicky se slinování také používá k vytváření wolframových objektů.
Wolfram má nejsilnější pevnost v tahu, nejnižší tlak par (při teplotách přesahujících 1650 stupňů, 3000 stupňů F) a nejvyšší bod tání ze všech kovů v čisté formě (3422 stupňů, 6192 stupňů F). Wolfram má ze všech čistých kovů nejmenší koeficient tepelné roztažnosti. Silná kovalentní spojení vytvořená 5d elektrony mezi atomy wolframu dávají wolframu jeho nízkou tepelnou roztažnost, vysoký bod tání a velkou pevnost v tahu. Ocel se stává výrazně odolnější, když je s ní v malých množstvích legován wolfram.
Výroba wolframových naprašovacích terčů v různých formách a čistotě je specialitou Yusheng Metal, která se většinou používá v polovodivé a mikroelektronice. Díky nejvyššímu bodu tání ze všech kovů jsou wolframové vrstvy, které jsou součástí tenkovrstvých tranzistorů používaných v TFT-LCD obrazovkách, neuvěřitelně stabilní v prostředí s vysokou teplotou. Naše terče mají vyšší hustotu, nižší průměrnou velikost částic a vyšší čistotu v důsledku našich jedinečných tvarovacích technik, což vám umožňuje využít výhod rychlejšího procesu díky vyšším rychlostem naprašování a vytvářet velmi homogenní vrstvy wolframu.
Naše flexibilní výrobní technika nám umožňuje upravit mikrostrukturu tak, aby se dosáhlo požadovaného výsledku. Uživatel může profitovat z konstantní rychlosti eroze a homogenních vrstev, pokud jsou zrna rozprašovací elektrody rovnoměrně vyrovnána. 100 m je typická velikost zrna.
Kovový rozprašovací terč musí mít vynikající chemickou čistotu, protože to povede k filmům s větší elektrickou vodivostí a sníženou tvorbou částic během procesu PVD. Typický certifikát analýzy pro wolframový terč 3N5 je uveden níže.
Analytické techniky:
1. Ke zkoumání kovových prvků byly použity GDMS a ICP-OES.
2. LECO zkoumalo složky plynu.

Příprava materiálu, slinování a chemická analýza jsou kroky při přípravě wolframového naprašovacího terče. Válcování, žíhání, metalografická kontrola, výroba, trojrozměrná kontrola, čištění, výstupní kontrola, balení a expedice
Wolframový naprašovací terč a technika jeho přípravy
Čistota přes 99,95 procenta, 2,2–2,6 mm, izostatické lisování za studena po dobu 5–10 minut, 2300–2400 stupňů, 8–12 hodin mezifrekvenčního indukčního slinování a směs wolframového prášku 1450–1500 stupňů. Je válcován za tepla na tloušťku 5–15 mm četnými průchody, s celkovou deformací více než 60 procent, po žíhání při 1550 stupních po dobu 90–180 minut. Po době žíhání 90 až 150 minut při 1300 až 1400 stupních se provede mechanické zpracování. Konečný materiál wolframového terčíku má nejen dobrý výkon, ale také přiměřeně snadno zpracovatelný a nevyžaduje drahé vybavení. Míra mechanického zpracování na povrchu je asi 1,5 mm.
K dispozici jsou další slitiny wolframových terčů.
Terče vyrobené z wolframu titanu, slitiny wolframu a titanu, wolframové mědi, wolframmanganu, wolframu niklu atd.
Populární Tagy: wolframový naprašovací terč, dodavatelé, výrobci, továrna, přizpůsobené, koupit, cena, nabídka, kvalita, na prodej, skladem
Další
Wolframový terčMohlo by se Vám také líbit
Odeslat dotaz











